中國電子工程設計院  秦學禮

　　摘要

　　隨著IC生產(chan)工藝技術的(de)不斷發展,對于生產(chan)環境及(ji)其(qi)它配(pei)套系統要求(qiu)也相應更為(wei)嚴格(ge),本(ben)文81"、12",IC生產(chan)的(de)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)間設計中有關無(wu)塵(chen)(chen)車(che)間形式(shi)和送風方式(shi)、空氣處理及(ji)溫濕度保證措(cuo)施,懸浮分(fen)子污染物(AMC)的(de)控制(zhi),以及(ji)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)間排煙等方面的(de)設計方案(an),進行了多方案(an)的(de)綜(zong)合分(fen)析和評(ping)價。

　　引言

　　集成(cheng)電(dian)路(lu)(IC)是集多種高新技術于(yu)(yu)一體的(de)(de)高科技產品(pin)，它(ta)幾乎存在(zai)于(yu)(yu)所有工業(ye)部門，對國民經濟(ji)的(de)(de)發展起著(zhu)“倍增器”的(de)(de)作用，因此被(bei) 國家作為戰略性(xing)產業(ye)。同(tong)時IC產業(ye)也是當今世界上(shang)發展最為迅(xun)速、競爭最為激烈的(de)(de)產業(ye)。由于(yu)(yu)下游產品(pin)的(de)(de)需要以(yi)(yi)及生(sheng)產成(cheng)本的(de)(de)考(kao)慮，IC不斷朝(chao)著(zhu)特征尺(chi)寸(cun)縮小，硅片(pian)直徑增大(da)的(de)(de)方向發展。目(mu)前 上(shang)以(yi)(yi)8”、0.25-0.18微(wei)米(mi)(mi)為代(dai)表的(de)(de)工藝已(yi)進入大(da)生(sheng)產，以(yi)(yi)12”、0.15-0.13微(wei)米(mi)(mi)為代(dai)表的(de)(de)工藝也開始進入大(da)生(sheng)產，研究工作已(yi)進入納(na)(na)米(mi)(mi)階段，70納(na)(na)米(mi)(mi)、40納(na)(na)米(mi)(mi)的(de)(de)器件已(yi)在(zai)實驗室中制備(bei)成(cheng)功。

　　隨(sui)著工藝牛(niu)產技術的(de)(de)不斷發展，IC生產對于環(huan)境及其他配套系統的(de)(de)要求(qiu)也相應越來越嚴格，說到環(huan)境首(shou)當其沖的(de)(de)是(shi)無塵車間(jian)，8”、12”IC生產無論對潔凈度(du)、溫濕(shi)度(du)還(huan)是(shi)空氣中分子級污(wu)染物(AMC)、防(fang)微振(zhen)、防(fang)靜電(dian)等都(dou)有極(ji)嚴格的(de)(de)要求(qiu)，有些苛刻(ke)的(de)(de)要求(qiu)甚至使(shi)某(mou)些傳統的(de)(de)做法(fa)受到挑(tiao)戰。

　　1、無塵車間形式

　　1.1無塵車間(jian)從平面布置劃(hua)分一(yi)般有三種形式(shi)：即開放式(shi)(ballroomtype)、港灣式(shi)(baycliasetype)、島形布置（islandtype），如圖1、2、3。

　　以上三種形(xing)式(shi)無(wu)塵(chen)車間(jian)各有其優缺點,IC前工序(xu)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠通常(chang)采用港灣式(shi)和(he)開放(fang)式(shi)無(wu)塵(chen)車間(jian)，港灣式(shi)無(wu)塵(chen)車間(jian)在5”、6”IC生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠用得較多，其工藝(yi)(yi)設備(bei)為(wei)穿墻式(shi)：而8”、12”IC生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)廠則普遍采用開放(fang)式(shi)無(wu)塵(chen)車間(jian)加微環境(mini-environment)的(de)方(fang)式(shi)。開放(fang)式(shi)無(wu)塵(chen)車間(jian)顯著的(de)優點首先(xian)是(shi)對工藝(yi)(yi)布置(zhi)帶來(lai)最大的(de)靈活(huo)性，這尤為(wei)重要(yao)(yao)，因為(wei)當(dang)今[C生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術發展極為(wei)迅速，不(bu)論產(chan)(chan)品本身(shen)要(yao)(yao)求(qiu)還是(shi)工藝(yi)(yi)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)過程和(he)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)設備(bei)都(dou)處在不(bu)斷變化中，而IC生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)工廠的(de)建設周期(qi)從開始設計到安裝工藝(yi)(yi)設備(bei)通常(chang)需要(yao)(yao)一年半左右的(de)時間(jian)，在這段時間(jian)內丁(ding)藝(yi)(yi)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術以及工藝(yi)(yi)沒備(bei)需要(yao)(yao)不(bu)斷的(de)調(diao)整和(he)更新，只有

　　這樣才(cai)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)保(bao)證(zheng)投(tou)產(chan)(chan)(chan)(chan)時其生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)技(ji)術(shu)小會處于落(luo)后的(de)(de)(de)窘地，即使(shi)投(tou)產(chan)(chan)(chan)(chan)以(yi)(yi)后，也會因產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)、市場及(ji)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)技(ji)術(shu)等因素的(de)(de)(de)變(bian)化而需要(yao)(yao)對生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)線進行(xing)改造(zao)以(yi)(yi)調(diao)整產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)和產(chan)(chan)(chan)(chan)能。其次8”、12”IC生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)對環(huan)境(jing)尤其是潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)耍(shua)求(qiu)極(ji)為嚴格(ge)(ge)，通常硅片暴露區（加工過程(cheng)）要(yao)(yao)求(qiu)1.5級(ji)（209E，O.lμm，1級(ji)）．采用開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)加微(wei)環(huan)境(jing)方(fang)式(shi)(shi)再配套自動(dong)(dong)物(wu)料(liao)處理系(xi)統automatedmaterialhandlingsystem.AMHS)，一方(fang)面口可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)使(shi)操作人員和其他污染源與硅片完全(quan)(quan)隔離，另一方(fang)面生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)自動(dong)(dong)化程(cheng)度(du)的(de)(de)(de)提(ti)高(gao)(gao)對提(ti)高(gao)(gao)硅片成品(pin)率極(ji)為有利(li)。開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)加微(wei)環(huan)境(jing)方(fang)式(shi)(shi)，工藝生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)只要(yao)(yao)求(qiu)微(wei)環(huan)境(jing)內有很(hen)嚴格(ge)(ge)的(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)，而開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)只需保(bao)證(zheng)5-6級(ji)，這樣嚴格(ge)(ge)要(yao)(yao)求(qiu)的(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)區域(yu)大(da)大(da)減(jian)(jian)少，保(bao)證(zheng)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)所(suo)需的(de)(de)(de)循環(huan)空氣量也相應減(jian)(jian)少，能耗(hao)大(da)大(da)降低，通常情(qing)況(kuang)下開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)加微(wei)環(huan)境(jing)方(fang)式(shi)(shi)其維持潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)所(suo)需的(de)(de)(de)能耗(hao)大(da)約僅為港灣式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)1/3[]。實際工程(cheng)中(zhong)微(wei)環(huan)境(jing)是由設(she)備自帶(dai)的(de)(de)(de)和開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)完全(quan)(quan)脫開(kai)(kai)，再加上開(kai)(kai)放(fang)(fang)式(shi)(shi)無(wu)(wu)(wu)塵車(che)間(jian)(jian)本身結(jie)構(gou)簡(jian)單，動(dong)(dong)力設(she)備減(jian)(jian)少，這樣無(wu)(wu)(wu)論從設(she)計(ji)到(dao)建造(zao)都變(bian)得簡(jian)單快捷，可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)縮短建造(zao)時間(jian)(jian)。

　　采用開放式(shi)無塵車間加(jia)微環(huan)境方式(shi)，確保硅片加(jia)工過(guo)程所需的潔(jie)凈度的關鍵區域是微環(huan)境，微環(huan)境通常如圖4、圖5所示。

　　圖4所示的微環境的送風是由無塵車間送風系統提供，其缺點是不靈活，移動或增加工藝設備不方便。目前8”、12”IC生產線所用的微環境基本上是圖5的形式（光刻機除外），微環境全部由工藝設備自帶，與工藝設備緊密結合在一起，并且與裝載臺、前開口傳遞盒(frontopeningunifiedpods．FOUP)、吊掛傳輸系統(ovcerheadhoisttransport，OHT)有機結合。微環境系統的風機直接吸室內的空氣，經ULP過濾器處理后垂直下吹，以保證硅片暴露區嚴格的潔凈度要求。微環境內的送風斷面風速通常保持在0.2-0.45m/s，并保證過濾器出口斷面上任意一點的風速不超過平均風速的±20%，過高的風速會使微環境的溫度偏高。微環境的風機應為變頻風機以適應過濾器的阻力變化，所用過濾器的效率≥99.99995%(MPPS)。為避免周圍“臟”空氣滲入微環境，微環境相對于周圍環境（開放式無塵車間）應保持不低于1.25Pa的正壓，這可以通過調節底部的回風閥門實現。8”、12”IC生產對防微振要求極高，而微環境所用的風機緊靠生產設備，所以風機與設備問應設有效減振措施，并且風機本身產生的振動在3-100Hz頻段內任意一個頻率點的振動位移幅值≤1.25μm。

　　1.2、無塵車(che)間從(cong)送風系(xi)(xi)統方(fang)式(shi)劃分(fen)一般也有三種形式(shi)：即集中送風系(xi)(xi)統(centralsystem)、隧道系(xi)(xi)統(tunnelsysterm、FFU系(xi)(xi)統(fanfilterunitsystem)，如圖6、7、8。

這三種送(song)(song)風系(xi)(xi)統(tong)各有特點，從(cong)不(bu)(bu)同的(de)角度比較會得出不(bu)(bu)同的(de)結論(lun)，所(suo)以不(bu)(bu)能簡(jian)單地說孰優孰劣，送(song)(song)風系(xi)(xi)統(tong)方式的(de)采用(yong)(yong)主要取決于業(ye)主、設計人員(yuan)的(de)關注點側重(zhong)于哪些方面(mian)。不(bu)(bu)過FFU系(xi)(xi)統(tong)近幾(ji)(ji)年來得到越來越廣泛的(de)使用(yong)(yong)，尤其(qi)是在亞太地區。國內也不(bu)(bu)例外，已建的(de)和(he)在建的(de)8”、12”IC生產廠房(fang)幾(ji)(ji)乎(hu)都采用(yong)(yong)FFU系(xi)(xi)統(tong)，很多5”、6”IC生產廠房(fang)近幾(ji)(ji)年也采用(yong)(yong)FFU系(xi)(xi)統(tong)。究其(qi)原因(yin)，除(chu)了習慣、經驗等非技(ji)術(shu)性因(yin)素之外，不(bu)(bu)外乎(hu)有以下幾(ji)(ji)個原因(yin)：

　　a)靈(ling)活性(xing)(xing)：在三種系(xi)(xi)統(tong)(tong)中(zhong)，FFU系(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)靈(ling)活性(xing)(xing)是 的(de)(de)，這(zhe)點特別(bie)適應當今(jin)IC生產(chan)技術(shu)飛速(su)發(fa)展的(de)(de)要求，由于隨著產(chan)品(pin)生產(chan)工藝的(de)(de)發(fa)展潔(jie)凈度(du)等級需(xu)求也會不(bu)(bu)斷嚴格。隧(sui)(sui)道(dao)系(xi)(xi)統(tong)(tong)幾乎談不(bu)(bu)上靈(ling)活性(xing)(xing)，且隧(sui)(sui)道(dao)系(xi)(xi)統(tong)(tong)是以操(cao)作區(qu)作為(wei)送風、設(she)備(bei)區(qu)作為(wei)回風的(de)(de)空氣(qi)循環(huan)系(xi)(xi)統(tong)(tong)，但8”、12”IC廠房無塵車間日前基本上都采(cai)用Ballroom方式，，f：分操(cao)作區(qu)和設(she)備(bei)區(qu)，因此(ci)隧(sui)(sui)道(dao)系(xi)(xi)統(tong)(tong)也就不(bu)(bu)適用J；集中(zhong)送風系(xi)(xi)統(tong)(tong)有(you)一定的(de)(de)靈(ling)活性(xing)(xing)，但潔(jie)凈系(xi)(xi)統(tong)(tong)改(gai)造時必須停機、停產(chan)。如果要提(ti)高局(ju)部(bu)區(qu)域的(de)(de)潔(jie)凈度(du)，除了無塵車間頂部(bu)要增加(jia)HEPA/ULPA過濾器外(wai)，還(huan)需(xu)增設(she)循環(huan)機組，從而(er)使改(gai)造難度(du)大(da)，而(er)且對生產(chan)有(you)較(jiao)大(da)影(ying)響(xiang)；采(cai)用FFU系(xi)(xi)統(tong)(tong)，局(ju)部(bu)增加(jia)FFU臺(tai)數或移動FFU位置均很容易實現，而(er)且可以在不(bu)(bu)停產(chan)的(de)(de)情況下進行，對生產(chan)幾乎沒有(you)影(ying)響(xiang)。

　　b)調控性：和集中式(shi)送風系統相(xiang)比，FFU系統各區空氣交叉的情況相(xiang)對要(yao)少(shao)(shao)，可以實現(xian)(xian)較高精度(du)的溫濕度(du)控制。隨著(zhu)電機與(yu)網絡控制技術的發展，FFU很容易(yi)實現(xian)(xian)單(dan)臺控制，每臺FFU出風速度(du)在一(yi)定范(fan)圍內幾乎可以任意調節，這樣(yang)就很容易(yi)解決大跨度(du)無塵車間(jian)遠近端(duan)氣流不均勻的問(wen)題。另外FFU還可以根據實際使(shi)用需要(yao)停開或(huo)少(shao)(shao)開啟一(yi)部分。

　　c)可靠性：采用(yong)集中送風系統只要一臺送風機組(zu)(zu)出(chu)現故障，整個(ge)系統的潔(jie)(jie)凈度就得不到保證(zheng)，除非有備用(yong)機組(zu)(zu)能立(li)即投入運(yun)行(xing)；對于隧道系統一旦某(mou)一臺循環(huan)機組(zu)(zu)停止運(yun)行(xing)，該循環(huan)機組(zu)(zu)所負擔(dan)的潔(jie)(jie)凈區域的潔(jie)(jie)凈度、溫濕度就無法保證(zheng)，生產也只好停止；而(er)FFU系統這(zhe)方面(mian)的風險相(xiang)對要小得多(duo)，即使有一臺FFU出(chu)現故障，其影響面(mian)很(hen)小另外隨著(zhu)網絡(luo)監控技術的發展，FFU系統因數量(liang)多(duo)而(er)造(zao)成維(wei)護不便的情況也已得到改善(shan)。

　　d)氣(qi)密性(xing)與空間利用(yong)：FFU系(xi)統由于風(feng)(feng)機(ji)直(zhi)接設在工(gong)作(zuo)區上(shang)(shang)(shang)方，因(yin)此(ci)工(gong)作(zuo)區相對(dui)(dui)(dui)于回風(feng)(feng)道及(ji)上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱為(wei)正(zheng)壓(ya)(ya)(ya)，工(gong)作(zuo)區以外(wai)污染(ran)物極(ji)(ji)少因(yin)泄漏(lou)進入(ru)上(shang)(shang)(shang)作(zuo)區：相反(fan)的，集中(zhong)送風(feng)(feng)系(xi)統和(he)隧(sui)道系(xi)統工(gong)作(zuo)區相對(dui)(dui)(dui)于上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱為(wei)較大的負(fu)壓(ya)(ya)(ya)，因(yin)此(ci)泄漏(lou)的風(feng)(feng)險性(xing)比FFU系(xi)統要(yao)高(gao)得(de)(de)多。另外(wai)采用(yong)集中(zhong)送風(feng)(feng)系(xi)統及(ji)隧(sui)道系(xi)統，上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱與周圍環(huan)境的壓(ya)(ya)(ya)差很大，極(ji)(ji)易發(fa)生空氣(qi)泄漏(lou)，因(yin)此(ci)對(dui)(dui)(dui)上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱的氣(qi)密性(xing)要(yao)求很高(gao)，基本上(shang)(shang)(shang)不允許管線進人。而FFU系(xi)統的上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱相對(dui)(dui)(dui)于周圍環(huan)境只是(shi)微正(zheng)壓(ya)(ya)(ya)，上(shang)(shang)(shang)靜壓(ya)(ya)(ya)箱內(nei)可以布置或穿越諸如排風(feng)(feng)和(he)排煙等管道，使空間得(de)(de)到(dao)合理(li)利用(yong)。

　　e)能(neng)(neng)耗問(wen)題：一些(xie)統(tong)(tong)(tong)計(ji)資料(liao)表明，在(zai)IC廠(chang)房中，維(wei)持生產(chan)環境潔(jie)凈度的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)氣循環過濾系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)是(shi)除工藝設備外的(de)(de)(de)(de)(de)耗能(neng)(neng)最大(da)(da)的(de)(de)(de)(de)(de)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)，所(suo)以(yi)采(cai)用(yong)何種送(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)其能(neng)(neng)耗也(ye)是(shi)必須考慮的(de)(de)(de)(de)(de)因素(su)。大(da)(da)型軸流風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)全壓(ya)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)理想上(shang)可(ke)(ke)達80%，電(dian)機(ji)(ji)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)一般可(ke)(ke)達90%，則(ze)用(yong)電(dian)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)是(shi)兩者的(de)(de)(de)(de)(de)乘積(ji)72%，如果考慮消(xiao)音器對風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)壓(ya)造成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)損失，使風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)全壓(ya)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)降至70%，則(ze)用(yong)電(dian)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)也(ye)隨之降到(dao)63%（假設電(dian)機(ji)(ji)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)不(bu)變(bian)(bian)）；8”、12”IC廠(chang)房無塵車間中的(de)(de)(de)(de)(de)FFU通常采(cai)用(yong)直流無刷電(dian)機(ji)(ji)，效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)也(ye)可(ke)(ke)達到(dao)90%[2]，通常用(yong)電(dian)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)在(zai)50%左右。所(suo)以(yi)在(zai) 的(de)(de)(de)(de)(de)運行狀態下，大(da)(da)型軸流風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)單機(ji)(ji)用(yong)電(dian)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)高(gao)于小(xiao)型FFU應該是(shi)沒有(you)什(shen)么疑問(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)。但實際(ji)工程情(qing)況又怎樣呢？由于直流無刷電(dian)機(ji)(ji)可(ke)(ke)以(yi)在(zai)相(xiang)當大(da)(da)的(de)(de)(de)(de)(de)運行范圍里保持高(gao)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)出力(li)，而大(da)(da)型軸流風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)在(zai)變(bian)(bian)頻運轉(zhuan)后電(dian)機(ji)(ji)效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)會(hui)急劇(ju)下降，但潔(jie)凈系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)中HEPA/ULPA的(de)(de)(de)(de)(de)阻力(li)是(shi)不(bu)斷變(bian)(bian)化的(de)(de)(de)(de)(de)，且初、終(zhong)阻力(li)相(xiang)差(cha)較大(da)(da)，所(suo)以(yi)在(zai)相(xiang)當長的(de)(de)(de)(de)(de)時間內風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)是(shi)在(zai)非(fei)設計(ji)狀態運行，從(cong)這方面考慮FFU系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)又會(hui)具有(you)一定(ding)(ding)優勢。所(suo)以(yi)對集中送(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)和FFU系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)能(neng)(neng)源效(xiao)(xiao)(xiao)率(lv)(lv)(lv)(lv)比較，很難做出明確(que)的(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)論(lun)，應視具體工程項目的(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)品生產(chan)情(qing)況、凈化空(kong)調系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)及(ji)其設備配置(zhi)情(qing)況等確(que)定(ding)(ding)。

　　2、空氣處理及溫濕度保證

　　8”、12”IC生產由于(yu)其工藝(yi)加(jia)工線寬極小，所(suo)以(yi)對溫(wen)(wen)濕度(du)的(de)精度(du)要求很高，通常(chang)溫(wen)(wen)度(du)精度(du)為±0.3～±0.5℃，相對濕度(du)精度(du)為±2%～±3%。該類廠房無塵(chen)車間一般采用新(xin)風(feng)集中處理加(jia)FFU系(xi)統，在下夾層(ceng)或上靜(jing)壓(ya)箱內設(she)干表(biao)冷(leng)器。無塵(chen)車間內的(de)相

　　對濕度(du)由(you)新(xin)風機組保證，溫度(du)由(you)干表冷器保證。

　　2.1、新風處理及相對濕度保證

　　新風(feng)處理機組(zu)的功能段如圖9所(suo)示，新風(feng)處理機組(zu)中設置(zhi)初、中、高效三(san)級過(guo)濾(lv)(lv)，以去除室外(wai)空氣(qi)中的灰塵粒子，設高效過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)很有必要可(ke)以延長無塵車間頂部FFU內ULPA過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)的使(shi)用壽命；

　　設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產有影響的雜質氣體，根據工廠所在地的室外空氣品質設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產塵；通過設在新風處理機組內的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內的相對濕度進行連續的重新整定，以保證室內的相對濕度。這里不以房間內的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內的相對濕度連續的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制：由于外網蒸汽中含有對IC生產有影響的雜質，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組確提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水（一級RO后）代替潔凈蒸汽加濕器，這是一舉兩得的好辦法，因為噴淋純水既可以達到加濕的目的，又可以去除空氣中對IC牛產有影響的雜質氣體。新風處理機組還應保證無塵車間內的正壓，所以新風機組內的風機應配置變頻裝置，以無塵車間內的正壓值控制風機轉速。新風集中處理有諸多優點，但在寒冷地區使用時則特別要注意盤管的防凍問題。另外因8”、12”IC生產對環境的可靠性有極高的要求，新風處理機組必須設一臺備用機組。

　　2.2、循環風處理(li)及溫度保證

　　8”、12”IC廠(chang)房無塵(chen)(chen)車(che)間(jian)通常(chang)采用(yong)FFU系統（如圖(tu)8），室內空氣經干(gan)表冷器(qi)冷卻處(chu)理(li)后(hou)(hou)與(yu)新風混合(he)，再由(you)設(she)在(zai)房問頂部(bu)的(de)(de)FFU加(jia)壓(ya)(ya)、過濾(lv)后(hou)(hou)送(song)(song)入房間(jian)。還有(you)一種情況是(shi)干(gan)表冷器(qi)設(she)在(zai)上夾層，空氣處(chu)理(li)過程(cheng)略(lve)有(you)不同，其過程(cheng)為：新風和回風混合(he)，再經千表冷器(qi)冷卻，最后(hou)(hou)由(you)FFU加(jia)壓(ya)(ya)、過濾(lv)后(hou)(hou)送(song)(song)人無塵(chen)(chen)車(che)間(jian)。干(gan)表冷器(qi)主(zhu)要是(shi)消除無塵(chen)(chen)車(che)間(jian)內的(de)(de)顯熱負荷，根據無塵(chen)(chen)車(che)間(jian)內的(de)(de)溫度控(kong)制對應區域的(de)(de)干(gan)表冷器(qi)以(yi)保(bao)證房問的(de)(de)溫度。采用(yong)該系統應注意(yi)以(yi)下幾點：

　　a)為得到(dao)精確的溫(wen)濕(shi)度(du)控制，應盡量(liang)減少Ballroom內各區域之問(wen)的氣(qi)流交叉，所以各區域的干表冷器(qi)結構形式、空氣(qi)側阻力應盡量(liang)一致。

　　b)考慮(lv)室(shi)(shi)內(nei)(nei)濕度精度及(ji)表(biao)冷(leng)(leng)(leng)器(qi)空(kong)氣側阻(zu)力等(deng)因素(su)，應確(que)保干(gan)(gan)表(biao)冷(leng)(leng)(leng)器(qi)在(zai)干(gan)(gan)工況下工作(zuo)，干(gan)(gan)表(biao)冷(leng)(leng)(leng)器(qi)所(suo)用(yong)的(de)冷(leng)(leng)(leng)凍(dong)水(shui)溫(wen)度應根據(ju)室(shi)(shi)內(nei)(nei)濕負荷、室(shi)(shi)內(nei)(nei)空(kong)氣的(de)露(lu)點(dian)溫(wen)度等(deng)因素(su)確(que)定，IC廠房工藝生產設備發濕量很少，考慮(lv)干(gan)(gan)表(biao)冷(leng)(leng)(leng)器(qi)所(suo)用(yong)冷(leng)(leng)(leng)凍(dong)水(shui)本(ben)身的(de)溫(wen)度控制精度以及(ji)其他的(de)安全(quan)余量，實際(ji)工程中一般冷(leng)(leng)(leng)凍(dong)水(shui)供水(shui)溫(wen)度比(bi)室(shi)(shi)內(nei)(nei)空(kong)氣露(lu)點(dian)溫(wen)度高2～3℃，溫(wen)差通(tong)常(chang)取(qu)3～5℃，根據(ju)室(shi)(shi)內(nei)(nei)溫(wen)度控制精度確(que)定。干(gan)(gan)表(biao)冷(leng)(leng)(leng)器(qi)所(suo)用(yong)的(de)冷(leng)(leng)(leng)凍(dong)水(shui)通(tong)常(chang)以混水(shui)方式或換熱方式得到。

　　c)干(gan)表(biao)冷器(qi)斷面風速不(bu)宜太高(gao)，因為(wei)過高(gao)的風速會使干(gan)表(biao)冷器(qi)空氣側阻力偏大，而由于(yu)房間噪聲要(yao)求的限制FFU所(suo)能提供(gong)的機外(wai)余壓(ya)有限，一般為(wei)90Pa，考慮其他(ta)風路阻力，干(gan)表(biao)冷器(qi)的空氣側阻力通常控制在40Pa左右。

　　3、空氣中分子級污染物(AMC)控制

　　隨著lC生(sheng)產的(de)(de)(de)(de)飛速發(fa)展，其(qi)加工的(de)(de)(de)(de)特征(zheng)尺寸越(yue)來越(yue)微細化，去除空氣中(zhong)的(de)(de)(de)(de)AMC(airbomemolecularcontamination)問題越(yue)來越(yue)受到(dao)人們關注， 半導(dao)體制(zhi)造技(ji)術協(xie)會(hui)(SEMATECH)及其(qi)他(ta)機構、組織(zhi)對IC生(sheng)產中(zhong)AMC的(de)(de)(de)(de)危害和(he)(he)允許濃度分別進(jin)行了分析預測(ce)，表l是(shi)SEMATECH所(suo)(suo)預測(ce)的(de)(de)(de)(de) 半導(dao)體發(fa)展進(jin)程及相應的(de)(de)(de)(de)AMC的(de)(de)(de)(de)要求。一些研究結(jie)果表明，空氣中(zhong)的(de)(de)(de)(de)金屬離(li)子(zi)(Na、K、Fe、Cu、Zn等(deng))會(hui)破(po)壞絕緣層，使p-n結(jie)漏電；而(er)氮氧化物(wu)、二氧化硫、氨(an)、有(you)機物(wu)、臭氧、硼、磷(lin)等(deng)都會(hui)引起電路缺陷。AMC已(yi)直接影響到(dao)產品的(de)(de)(de)(de)成品率和(he)(he)可靠性，所(suo)(suo)以(yi)(yi)應加以(yi)(yi)控制(zhi)。

　　3.1AMC的來源

　　AMC來源于無(wu)塵車間內及室外(wai)空氣。無(wu)塵車間內的(de)AMC主要(yao)來源于以下幾個方面：工藝(yi)牛產使用的(de)各種化(hua)學(xue)品，工藝(yi)設備和原材(cai)料的(de)氣體釋放(fang)，室內操作人員以及各種建筑材(cai)料等。室外(wai)空氣中(zhong)的(de)AMC多少(shao)與IC廠(chang)(chang)房所(suo)在(zai)地的(de)空氣質(zhi)量有關，且地方差異性較大(da)，通常越是工廠(chang)(chang)集中(zhong)的(de)工業(ye)區來自(zi)室外(wai)的(de)AMC就(jiu)越嚴重(zhong)。

　　3.2AMC的(de)控制(zhi)

　　減少無(wu)塵車間(jian)內(nei)的AMC應(ying)從以下四個方面進行控制：

　　a)控(kong)制(zhi)室內(nei)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)(sheng)：工藝生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)線本身是(shi)(shi)AMC最(zui)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)(sheng)源，因工藝生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)中要使用(yong)各(ge)種(zhong)化學品，這些化學品或多或少(shao)的(de)(de)(de)(de)(de)要散發到室內(nei)空(kong)氣(qi)中形(xing)成(cheng)AMC，所以首先應從生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)工藝上考慮盡(jin)量(liang)減(jian)少(shao)化學品的(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)，另外應控(kong)制(zhi)工藝設備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)制(zhi)作材(cai)(cai)料(liao)(liao)、涂(tu)料(liao)(liao)的(de)(de)(de)(de)(de)釋(shi)放(fang)(fang)氣(qi)體。無塵車間的(de)(de)(de)(de)(de)各(ge)種(zhong)建(jian)筑材(cai)(cai)料(liao)(liao)也是(shi)(shi)AMC的(de)(de)(de)(de)(de)一大(da)來源，建(jian)筑材(cai)(cai)料(liao)(liao)引起的(de)(de)(de)(de)(de)AMC涉及面較廣，目前通常采取以下(xia)措施：盡(jin)量(liang)采用(yong)AMC釋(shi)放(fang)(fang)低的(de)(de)(de)(de)(de)建(jian)筑裝修材(cai)(cai)料(liao)(liao)、涂(tu)料(liao)(liao)及密封(feng)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，目前常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)建(jian)材(cai)(cai)中聚四氟乙烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金、表面經烤漆處理的(de)(de)(de)(de)(de)金屬材(cai)(cai)料(liao)(liao)、高(gao)彈性聚氨脂涂(tu)料(liao)(liao)、環氧瓷漆等是(shi)(shi)可以接受的(de)(de)(de)(de)(de)，而環氧樹脂涂(tu)料(liao)(liao)、硅

　　密(mi)封(feng)膠(jiao)、單/雙面密(mi)封(feng)膠(jiao)帶、阻燃劑(ji)已(yi)不適用(yong)(yong)了；改(gai)進建筑材(cai)料(liao)加(jia)工(gong)工(gong)藝，提高(gao)加(jia)工(gong)精度，工(gong)程中(zhong)盡(jin)(jin)量(liang)不用(yong)(yong)密(mi)封(feng)膠(jiao)；潔凈系統中(zhong)的(de)HEPA/ULPA過濾器應(ying)采用(yong)(yong)聚四氟乙烯(xi)(PTFE)或低(di)(di)硼低(di)(di)有(you)機物的(de)玻(bo)(bo)璃纖(xian)維制(zhi)作(zuo)，另外(wai)目前常用(yong)(yong)的(de)DOP測試(shi)方法以及鈉焰(yan)測試(shi)也是(shi)不能接受的(de)，SEMATECH推(tui)薦(jian)采用(yong)(yong)以去離子(zi)水霧攜(xie)帶的(de)固態聚苯乙烯(xi)(polystyrenelatex，PSL)小(xiao)球作(zuo)為測試(shi)粒子(zi)；系統中(zhong)的(de)吸音材(cai)料(liao)盡(jin)(jin)量(liang)不用(yong)(yong)玻(bo)(bo)璃纖(xian)維，可以用(yong)(yong)發泡金屬(shu)等材(cai)料(liao)代替；上靜壓箱(xiang)用(yong)(yong)無(wu)密(mi)封(feng)的(de)烤漆板制(zhi)作(zuo)；制(zhi)作(zuo)風管(guan)的(de)材(cai)料(liao)必須脫(tuo)脂，密(mi)封(feng)墊用(yong)(yong)丁基橡膠(jiao)：無(wu)塵車(che)間(jian)空間(jian)內的(de)電纜也應(ying)采用(yong)(yong)AMC釋(shi)放低(di)(di)的(de)材(cai)料(liao)制(zhi)作(zuo)。

　　b)控制(zhi)室(shi)外(wai)侵入(ru)(ru)：首先無塵車(che)間(jian)(jian)空間(jian)(jian)等應密閉，使周圍環境的(de)(de)AMC不滲入(ru)(ru)無塵車(che)間(jian)(jian)；其(qi)次應防止(zhi)室(shi)外(wai)空氣(qi)(qi)中的(de)(de)AMC進入(ru)(ru)無塵車(che)間(jian)(jian)內，為此有兩個(ge)方面需要考慮，第一是(shi)新(xin)風(feng)人(ren)口應合(he)理(li)(li)(li)，盡量(liang)遠離排風(feng)口及(ji)其(qi)他污染源，另外(wai)建廠(chang)地點應合(he)理(li)(li)(li)。第二(er)是(shi)IC廠(chang)所在(zai)地的(de)(de)室(shi)外(wai)空氣(qi)(qi)中如(ru)含有對生(sheng)產工(gong)藝敏感的(de)(de)AMC，則在(zai)室(shi)外(wai)空氣(qi)(qi)送入(ru)(ru)無塵車(che)間(jian)(jian)前應進行可(ke)靠的(de)(de)處(chu)理(li)(li)(li)，根據室(shi)外(wai)空氣(qi)(qi)中AMC的(de)(de)種類(lei)、濃度以及(ji)工(gong)藝要求在(zai)新(xin)風(feng)處(chu)理(li)(li)(li)機(ji)組(zu)中設置(zhi)相應的(de)(de)化學過濾器，也可(ke)以在(zai)新(xin)風(feng)處(chu)理(li)(li)(li)機(ji)組(zu)中設淋洗裝(zhuang)置(zhi)加以去除。

　　c)控制擴(kuo)散(san)：對于生產中必須要(yao)使(shi)用(yong)化學(xue)品(pin)的(de)(de)工藝(yi)設(she)(she)備(bei)應盡量采取密閉(bi)措施，并設(she)(she)置(zhi)可靠的(de)(de)排風，以減少化學(xue)品(pin)的(de)(de)散(san)發。另外合理的(de)(de)氣(qi)流(liu)(liu)組織(zhi)對防(fang)止擴(kuo)散(san)也(ye)很重要(yao)，潔(jie)凈系統設(she)(she)計時應充分(fen)考慮減少各區域的(de)(de)氣(qi)流(liu)(liu)交叉。

　　d)化(hua)學過(guo)濾：采取了以(yi)(yi)上措(cuo)施雖然(ran)可以(yi)(yi)降低無塵(chen)車(che)(che)間內(nei)的(de)(de)AMC濃(nong)度，但不可能完全杜絕AMC的(de)(de)產(chan)生，而有(you)些生產(chan)工序對(dui)AMC又比較(jiao)敏感(gan)，雖然(ran)潔凈系統中裝有(you)HEPA/ULPA過(guo)濾器(qi)，該過(guo)濾器(qi)對(dui)于過(guo)濾灰塵(chen)粒(li)子有(you)效(xiao)果，但對(dui)于AMC幾乎不起作用，所以(yi)(yi)有(you)些生產(chan)區(qu)(qu)(qu)(qu)域還應(ying)設置化(hua)學過(guo)濾器(qi)，以(yi)(yi)去除無塵(chen)車(che)(che)間內(nei)的(de)(de)AMC。通常(chang)做法是在(zai)FFU的(de)(de)HFPA/ULPA過(guo)濾器(qi)與風(feng)機之間增設化(hua)學過(guo)濾器(qi)，針對(dui)區(qu)(qu)(qu)(qu)域一般是勻膠、顯影區(qu)(qu)(qu)(qu)以(yi)(yi)及CVD區(qu)(qu)(qu)(qu)。

　　4、無塵車間(jian)排煙問(wen)題

　　“潔凈廠(chang)房設(she)計規范”(GB50073_200l)[3]對潔凈廠(chang)房疏散走廊明(ming)確提出了(le)機(ji)械排(pai)煙要(yao)求，但(dan)塒于無(wu)塵車(che)(che)間(jian)(jian)沒有明(ming)確規定(ding)一定(ding)要(yao)設(she)機(ji)械排(pai)煙，實際工(gong)(gong)程中(zhong)各地消防部門(men)對于IC廠(chang)房無(wu)塵車(che)(che)間(jian)(jian)是否設(she)排(pai)煙的問題(ti)上要(yao)求也不一致；但(dan)8”、12”IC生產企(qi)業的業主通常會將整個廠(chang)房進行投保(bao)，由于IC生產中(zhong)要(yao)使(shi)用(yong)多種易燃(ran)的氣體和液體，保(bao)險商一般均要(yao)求無(wu)塵車(che)(che)間(jian)(jian)設(she)置(zhi)機(ji)械排(pai)煙措施，否則(ze)增加保(bao)費。所以在8”、12”IC工(gong)(gong)程中(zhong)，無(wu)塵車(che)(che)間(jian)(jian)機(ji)械排(pai)煙經常是不可回(hui)避的問題(ti)。IC廠(chang)房無(wu)塵車(che)(che)間(jian)(jian)國內外目(mu)前常用(yong)的排(pai)煙方式有兩種：即下排(pai)煙和上排(pai)煙。

　　4.1下排煙方式

　　下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)排煙(yan)(yan)(yan)一(yi)般是(shi)在(zai)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)回風(feng)(feng)(feng)下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)或(huo)回風(feng)(feng)(feng)豎井內(nei)(nei)設置排煙(yan)(yan)(yan)口，當無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)或(huo)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)發(fa)生火災(zai)時(shi)，則(ze)打開(kai)(kai)排煙(yan)(yan)(yan)口，開(kai)(kai)啟排煙(yan)(yan)(yan)風(feng)(feng)(feng)機(ji)進行排煙(yan)(yan)(yan)，此時(shi)新風(feng)(feng)(feng)機(ji)組繼(ji)續運行，往(wang)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)上夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)內(nei)(nei)補(bu)充新風(feng)(feng)(feng)，并通過必要(yao)的(de)閥門(men)切換使上夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)與無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)和下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)隔開(kai)(kai)，上夾(jia)(jia)(jia)層(ceng)內(nei)(nei)新風(feng)(feng)(feng)由FFU送入室內(nei)(nei)。采用(yong)下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)排煙(yan)(yan)(yan)必須(xu)有以(yi)下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)條件，即無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)發(fa)生火災(zai)時(shi)，無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)頂部FFU下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)吹的(de)斷面風(feng)(feng)(feng)速(su)必須(xu)大(da)于煙(yan)(yan)(yan)氣上升(sheng)的(de)速(su)度，否則(ze)煙(yan)(yan)(yan)氣會(hui)(hui)在(zai)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)頂部積聚。通常(chang)FFU下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)吹速(su)度為0.25～0.5m/s．而火災(zai)的(de)熱釋放(fang)率(lv)只要(yao)大(da)于3kW，煙(yan)(yan)(yan)氣的(de)上升(sheng)速(su)度就(jiu)會(hui)(hui)大(da)于0.5m/S[4]，所以(yi)下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)排煙(yan)(yan)(yan)方式只是(shi)在(zai)無(wu)塵(chen)(chen)車(che)(che)(che)間(jian)(jian)(jian)發(fa)生小火災(zai)時(shi)有效(xiao)。下(xia)(xia)(xia)(xia)(xia)排煙(yan)(yan)(yan)方式最近幾年(nian)在(zai)國(guo)外(wai)的(de)一(yi)些IC廠房中得(de)(de)到應用(yong)，但(dan)國(guo)內(nei)(nei)工程中用(yong)得(de)(de)較(jiao)少。

　　4.2上排煙方式(shi)

　　上(shang)(shang)排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)是在無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)吊頂(ding)上(shang)(shang)設置排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)，通過排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)風(feng)(feng)管將各排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)連(lian)接(jie)至排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)風(feng)(feng)機，當無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)發(fa)生火災(zai)時(shi)(shi)，打開(kai)排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)，開(kai)啟排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)風(feng)(feng)機進(jin)行(xing)排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)，排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)時(shi)(shi)新(xin)風(feng)(feng)機組繼續運(yun)行(xing)，向回風(feng)(feng)豎井內補(bu)風(feng)(feng)．上(shang)(shang)排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)方式(shi)無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)內煙(yan)(yan)(yan)(yan)氣(qi)上(shang)(shang)升(sheng)氣(qi)流(liu)和排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)氣(qi)流(liu)方向一致，排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)效果比較(jiao)理想(xiang)，目前在工(gong)程中(zhong)(zhong)得到廣泛的應用(yong)。但采(cai)用(yong)上(shang)(shang)排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)方式(shi)實(shi)際工(gong)程中(zhong)(zhong)通常會出現以(yi)下(xia)兩個(ge)問題，第一個(ge)問題是排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)的布(bu)置，在非(fei)單(dan)向流(liu)無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)中(zhong)(zhong)比較(jiao)好解決，由(you)于頂(ding)部的FFU沒有滿布(bu)，只需在盲板(ban)處設排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)即可(ke)；而單(dan)向流(liu)無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)由(you)于頂(ding)部滿布(bu)FFU，且(qie)IC廠(chang)房的無塵(chen)(chen)車(che)(che)間(jian)跨度都(dou)很大，只在側面布(bu)置排(pai)(pai)(pai)(pai)煙(yan)(yan)(yan)(yan)口(kou)(kou)又

 　　不能滿足要求(qiu)，所以(yi)不可(ke)避(bi)免會出現的要在滿布FFU的無(wu)塵(chen)車(che)間吊頂上設置(zhi)排煙口(kou)，據(ju)了解目(mu)(mu)前已有一些制(zhi)造公司開(kai)發(fa)出FFU和(he)排煙口(kou)結合在一起的產品，使(shi)這問題得以(yi)解決(jue)。第二個(ge)問題是排煙分區問題，目(mu)(mu)前8”、12”lC生產廠房(fang)無(wu)塵(chen)車(che)間基本上

　　都采用(yong)(yong)Ballroom方(fang)式，潔凈面積達l萬(wan)多平方(fang)米(mi)的無塵車間幾(ji)乎沒有(you)(you)分(fen)隔，而工(gong)藝生產又(you)都采用(yong)(yong)自動(dong)物料處理(li)系(xi)(xi)統(AMHS)，各生產區域頂部(bu)(bu)都設有(you)(you)縱(zong)橫交錯的吊掛傳(chuan)輸系(xi)(xi)統(OHT)，劃分(fen)排(pai)(pai)(pai)煙分(fen)區確(que)實比較困難(nan)，實際工(gong)程中(zhong)經常將整個(ge)Ballroom視為(wei)一個(ge)區，這又(you)會面臨排(pai)(pai)(pai)煙量(liang)極大(da)的問題，為(wei)減少(shao)排(pai)(pai)(pai)煙系(xi)(xi)統風量(liang)，在某些工(gong)程中(zhong)將工(gong)藝設備局部(bu)(bu)排(pai)(pai)(pai)風系(xi)(xi)統兼(jian)作(zuo)排(pai)(pai)(pai)煙，但排(pai)(pai)(pai)風系(xi)(xi)統的管道(dao)、配件(jian)及(ji)設備應滿足排(pai)(pai)(pai)煙要求(qiu)。

　　5、結語

　　目前8”、12”IC產業住(zhu)中(zhong)國(guo)大(da)(da)陸的(de)發展只是剛剛起步，由于該產業符(fu)合(he)(he)新型工業化的(de)要求，LE得到(dao)國(guo)家和(he)地J政府(fu)的(de)大(da)(da)力支持，預計住(zhu)未來的(de)幾(ji)年(nian)內將會得到(dao)快速的(de)發展，而8”、12”IC生產對無(wu)(wu)塵(chen)(chen)車(che)間(jian)空氣潔凈(jing)度等各項(xiang)指標(biao)有極嚴格(ge)的(de)要求，無(wu)(wu)塵(chen)(chen)車(che)間(jian)又(you)是能(neng)耗(hao)大(da)(da)戶，所以設計該類廠房無(wu)(wu)塵(chen)(chen)車(che)間(jian)時應進行(xing)多方案比較，在滿足工藝生產要求的(de)前提下，綜合(he)(he)考慮(lv)可靠(kao)性(xing)、靈(ling)活性(xing)、安全性(xing)、能(neng)源(yuan)效率、初投資等因素進行(xing)設計。

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